氮化硅粉是氮化硅陶瓷及相关产品的主要原料。目前，主要的制备方法包括直接氮化、碳热还原、热分解、溶胶凝胶、化学气相沉积和自扩散。

　　(1)硅粉直接氮化法

　　硅粉直接氮化法是制备氮化硅粉的早方法，在中国仍得到广泛应用。该方法相对简单，成本低。金属硅粉在氮或氨的气氛中加热，金属硅粉与氮源直接反应产生氮化硅粉。反应方程如下：

　　3Si2N2(g)=Si3N4(1)

　　3Si4NH3(g)=Si3N46H2(g)(2)

　　该方法成本低，设备要求低。然而，金属硅粉的氮化反应是一种放热反应。如果在氮化过程中不能及时释放热量，附近的金属硅粉就会熔化，严重影响氮化反应。因此，必须严格控制氮化温度、氮化速度、原料粒度和稀释剂浓度。合成氮化硅是一种不均匀的块，因此需要用球磨或其它方法制备氮化硅粉末，效率低，过程中容易引入杂质；

　　(2)碳热还原法

　　碳热还原法是在高温氮气环境下，用碳还原SiO2粉，SiO首先还原成气相SiO，气相SiO氮化硅与大气中的氮反应产生如下：

　　3SiO2(s)6C(s)2N2(g)=Si3N4(s)6CO(g)(3)

　　碳热还原法使用的原料成本低，粉末产品粒度小，反应速度快，α-Si3N4含量高，适合大规模生产。然而，该方法制备的氮化硅粉通常含有残留的碳或碳化硅，因此制备的粉末纯度不高，影响了产品的质量和应用。

　　(3)热分解法

　　该方法采用低温下的方法SiCl4与氨反应固相的亚氨基硅(Si(NH2)或胺基硅(Si(NH2)4)氮化硅粉末可在高温下分解。该方法反应效率高，能在短时间内制备大量纯度较高的氮化硅粉。该方法制备的氮化硅粉粒径均匀，纯度高，是制备优质氮化硅粉的过程。目前，该方法已成为生产商业化高纯度高质量氮化硅粉末的主要方法；

　　(4)溶胶-凝胶法

　　溶胶凝胶法是一种制备均匀、优质氮化硅粉的方法，通常采用高活性硅源作为前驱体，在液相中均匀混合原料，形成稳定、不沉的溶胶。老化后，慢慢聚合成凝胶，然后干燥烧结，制备纳米氮化硅粉。该方法克服了混合材料不均匀、粒度分布差距大的缺点。

　　(5)化学气相反应法

　　高温化学气相反应法(CVD)使用气态硅源，如SiCl4和SiH4、与气态氮源如NH反应方法如下：

　　3SiCl4(g)16NH3(g)=Si3N4(s)12NH4Cl(g)(4)

　　3SiH4(g)4NH3(g)=Si3N4(S)12H2(g)(5)

　　由于其反应过程是气相反应过程，其混合均匀，反应过程速度快，通过控制气相的流动很容易控制反应进度；

　　(6)自蔓延高温合成法

　　又称自蔓延高温合成SHS，它是一种合成技术，利用化学反应释放的热量作为热源加热邻近反应物，使反应能够持续和传递。一旦反应开始，就不需要外部能量，反应就会继续依靠自己的热量，直到反应完全结束。

　　由于硅粉的氮化是一种大量的放热反应，氮化硅可以通过自扩散合成制备其生产设备和工艺，反应速度快^这样制备的氮化硅粉纯度高，烧结活性好。然而，这一过程需要控制热量的扩散。如果扩散不好，很容易发生大儿童的硅熔化现象，防止氮化反应。

　　以上是氮化硅粉末合成方法的介绍，更多详情请关注官网：http://www.aysinbon.com/

      关键词：氮化硅    氮化硅铁   氮化硅锰